SF6氣體是無毒的，但如果在灌裝過程中處理不當，很容易洩漏。 但是，如果它洩漏並且濃度過高，則非常危險。 它們會產生不純的氣體和汙染物。 因此，必須加強對這種氣體的洩漏檢測。
當氣體中的水分超過規格時，當水分發生變化時，六氟化硫氣體會凝結在固體絕緣表面上，使表面變濕。 在這種情況下，器件的表面放電電壓受到影響並顯著降低。 因此，灌裝前應測量SF6環境的相對濕度，濕度應在80%以下。 如果測量失敗，請採取措施或選擇乾燥天氣進行灌裝。
此外，檢測SF6氣體的常用方法包括：
電化學技術：當六氟化硫氣體在200°C左右的溫度下與高溫催化劑接觸時，發生化學反應，改變電訊號以確定氣體是否洩漏。 高壓傳播技術：主要採用氣體絕緣技術，根據空氣中檢測到的高壓電極之間的電壓變化來評估空氣中是否存在洩漏氣體。 紅外光譜：氣體對特定波段的紅外光有很強的吸收能力。 該方法具有成本高、結構複雜、靈敏度高、無環境干擾、檢測誤差小等優點。
為了及時清除和更換洩漏的高純SF6，請在灌裝時啟動風扇，並仔細遵守規定。 填充後，酌情檢查側面和中間面。
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